風暴加熱板,HHP系列,晶圓CVD測試 | 日本進口

  • 非一般的加熱塊,而是採用半導體適用的平面蝕刻加熱器(發熱體),溫度分佈精度極佳,加熱效率拔群
  • 可設定「某時間止/某時間始/某時間段加熱」三種加熱模式
  • 兩段式顯示,設定溫度和當前溫度一目了然。
  • 用於晶片 CVD 測試。
貨號: 不提供 分類:

描述

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編號 原廠型號 加熱板尺寸(mm) 加熱板材質 設定溫度 溫度分布精度 昇溫速度(周圍溫度25℃時) 溫度感測器 主體尺寸(mm) 電源線長度 功耗 重量(Kg) 電源
S1403-HHP230SQ HHP-230SQ 230×230 鋁(表面硫酸陽極氧化處理) 40~400℃ ±1℃ 200℃/15分鐘、300℃/20分鐘、400℃/40分鐘 K型熱電偶 310×390×90 2米(3P插頭) 1.4千瓦 8 AC100V
S1403-HHP411V HHP-411V 250×150 鋁(表面硫酸陽極氧化處理) 40~400℃ ±1℃ 200℃/6分鐘、300℃/15分鐘、400℃/35分鐘 K型熱電偶 330×305×80 2米(3P插頭) 800瓦 6 AC100V
S1403-HHP330SQ HHP-330SQ 330×330 鋁(表面硫酸陽極氧化處理) 40~400℃ ±1℃ 200℃/15分鐘、300℃/20分鐘、400℃/40分鐘 K型熱電偶 410×490×90 2米(3P插頭) 3.2千瓦 14 AC200V
S1403-HHP4030 HHP-4030 400×300 鋁(表面硫酸陽極氧化處理) 40~400℃ ±1℃ 200℃/6分鐘、300℃/15分鐘、400℃/35分鐘 K型熱電偶 480×460×90 2米(3P插頭) 3.2千瓦 15 AC200V

 

#Shamal#シャマルホットプレート

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