描述
規格
| 適用晶圓直徑(inch) | 可裝晶圓數量 | 溝深(mm) | 適用低型燒杯 | 適用高型燒杯 |
|---|---|---|---|---|
| 2 | 8 | 1 | 1公升 | 2公升 |
| 3 | 8 | 1 | 1公升 | 2公升 |
| 4 | 8 | 1 | 2公升 | 3公升 |
| 5 | 8 | 1 | 3公升 | |
| 6 | 8 | 1 | ||
| 其他規格 | 特注 | 特注 | 特注 |
220-210型 晶圓/基材清洗架 圓片立插式 | KF
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- 裝載一定數量晶圓，批次進行清洗作業
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